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Pompe à vide cryogénique
Interchangeables avec les pompes à vide cryogéniques de même type fabriquées par Leybold, CTI, ULVAC, Sumitomo et d’autres marques, ces pompes sont conçues pour des applications de vide de précision à ultra-haut vide, sans huile, dans les domaines des semi-conducteurs et de l’aérospatiale. Elles sont largement utilisées dans des secteurs de pointe aux exigences strictes en matière de vide ultra-haut sans huile, notamment la gravure et le dépôt dans l’industrie des semi-conducteurs, l’aérospatiale, la fabrication d’instruments de précision ainsi que la recherche et le développement de matériaux supraconducteurs.